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美國Trek 646 靜電卡盤電源

更新時間:2025-03-13

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品牌：美國Trek
型號：Trek 646
描述：Trek 646 軟件驅動型靜電吸盤電源具有一系列功能，可滿足各種要求苛刻的應用。該儀器采用 Advanced Energy 技術，其效率和通量是其他備件的三倍。Trek 646 具有多功能、值得信賴...
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產品介紹

Trek 646 軟件驅動型靜電吸盤電源具有一系列功能，可滿足各種要求苛刻的應用。該儀器采用 Advanced Energy 技術，其效率和通量是其他備件的三倍。Trek 646 具有多功能、值得信賴的性能，可用于多種獨特的工具和工藝，無需為設施中的每個獨特工具或工藝指定新的供應。

產品亮點

可鎖定的前面板控制界面

每臺設備均提供 NIST 可追溯校準證書

支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技術

將靜電吸盤輪廓上傳并存儲到裝置中，并通過用戶友好的軟件界面進行內部存儲

晶圓檢測包括無晶圓、晶圓存在或晶圓夾緊狀態

減少背面氣體錯誤，提高吞吐量，并消除晶圓粘滯/爆裂問題

控制參數，如過流、晶圓存在和晶圓箝位閾值、箝位電壓、偏移電壓和內部或外部幅度/偏移控制

調整過程中的振幅/偏移和輸出控制的多功能性

使用后面板 I/O、串行計算機命令或前面板控件控制輸出

配置自定義夾緊和夾緊序列和波形

產品規格